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超纯水设备的工作原理：
1. 水进入纯化系统，主要部分流入树脂 / 膜内部，而另一部分沿模板外侧流动，以洗去透出膜外的离子。
2. 树脂截留水中的溶存离子。
3. 被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动。
4. 阳离子透过阳离子膜，排出树脂 / 膜之外。
5. 阴离子透过阴离子膜，排出树脂 / 膜之外。
6. 浓缩了的离子从废水流路中排出。
7. 去离子水从树脂 / 膜内流出。
什么叫全膜法超纯水设备?
全膜法超纯水设备是指采用盘滤+UF+RO+EDI+SMB组成的工艺设备，即预处理采用盘滤过滤器+超滤工艺，除盐采用二级反渗透＋EDI工艺使产水电阻率达到15MΩ.cm以上，终端供水采用变频供水泵＋二级精精混床＋终端超滤膜使产水电阻率达到18.2MΩ.cm，经处理后的产水水质达到《电子级水GB/T11446.1-1997 Ⅰ级》水质标准。
全膜法超纯水设备处理后的出水可直接满足锅炉补给水、工艺用水、电子超纯水、回用水、循环用水等要求该工艺已成功应用于电力、光伏、光电、半导体、电子、制药、冶金、石化等多个领域。该工艺的关键技术EDI系电渗析(ED)和离子交换技术(DI)有机结合，达到连续除盐、运行维护简单、无酸碱排放污染。
在膜处理系统中，用做前处理的超滤一般使用直径1mm的中空纤维，以脱除原水中的悬浮物及胶体，UF用作前处理的最大问题是膜污染及膜孔堵塞，为此常在前面设置预过滤器，以去除大粒径悬浮物，在预过滤前加絮凝剂，如PAC(聚丙稀酸)可提高过滤水质，并降低膜阻力。
对电厂锅炉补给水系统要求的溶氧量一般要求为0.3 mg/L以下,为此脱气膜应该在低5.33Kpa(40TORR)的真空度下操作。控制系统采用工控机程控控制，可实现自动起停，加药及冲洗，自动监测各种运行参数，以便生产管理。
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